日本三鷹MITAKA鐳射共聚焦顯微鏡 2D/3D點自動對焦表面形狀測量機

日本三鷹MITAKA鐳射共聚焦顯微鏡 2D/3D點自動對焦表面形狀測量機

日本三鷹MITAKA PF-60非接觸式激光表面形貌測量裝置 

產品概述│▩✘：

● 測量範圍廣◕↟•、精度高·╃。

  半徑R0.5Mm鐳射測頭和高精度的X丫載物臺▩•◕·▩，能夠測量幾十毫米的面積範圍·╃。精度可達到亞微米級·╃。
（測量範圍│▩✘：XYZ=60mm X 60mm X 10mm,解析度│▩✘：X丫=0.1 卩m, Z=0.01 pm）

● 具有Scan AF的高速測定模式·╃。

● 與國際粗糙度標準具有高度相關性·╃。

● 標配的MitakaMap軟體▩•◕·▩，可對應ISO國際標準的2D/3D表面粗糙度/形狀測量標準·╃。

● 緊湊的尺寸▩•◕·▩，只需要400mm x 400mm 的空間即可安裝·╃。裝置重量31kg·╃。

ISO承認的三鷹測量方法
在2008年▩•◕·▩，三鷹光器的非接觸式測量原理▩•◕·▩，已經被納入國際標準化組織（International Standard Organization ） ISO 25178-6面領域表面紋理分類方法中的”自動對焦分析” （ISO25178-605│▩✘： Point Autofocus Probe ）·╃。

測量原理

測定概要    
PF-60由自動對焦鐳射束顯微鏡（AF顯微鏡）和高精度移動的XY 載物臺組成·╃。AF顯微鏡測量Z方向的高度變化▩•◕·▩，搭配載物臺XY方 向的移動▩•◕·▩，可對樣品表面做二次元或三次元的測量·╃。
XY軸移動載物臺 ■ '
配備光柵尺的高精度XY軸移動載物臺▩•◕·▩，在移動中能夠讀取XY座標值·╃。

  在移動範圍（60mm*60mm）內可連續測量·╃。視野不受限◕↟•、數 據不需拼接▩•◕·▩，可實現大範圍◕↟•、高精度的測量·╃。
自動對焦系統  
高度測量用的AF顯微鏡▩•◕·▩，是透過上圖紅色鐳射束光路▩•◕·▩，以一個 半徑為0.5卩m的鐳射探針透過透鏡▩•◕·▩，在工作表面成像·╃。
反射的鐳射束從工作表面在透過透鏡▩•◕·▩，在AF感測器上成像▩•◕·▩，激 光對焦位置發生改變▩•◕·▩，AF感測器上的鐳射位置也會發生變化·╃。
AF感測器偵測雷射光點的實時位移▩•◕·▩，並且根據光的變化調整AF 顯微鏡到對焦位置（使雷射點在AF感測器的中心成像）